Browsing by Author "吳旭展"

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    在N型矽基板以鋁誘發多晶矽薄膜以及ZnO:Al(AZO)抗反射層之太陽能電池研究
    (2015) 吳旭展; Wu, Hsu-Chan
    本論文是利用射頻磁控濺鍍系統，分別濺鍍鋁、矽薄膜，經由熱退火方式，使鋁誘發矽形成p型多晶矽，於本質矽基板之上利用不同退火時間進而達到摻雜的目的;並及量測及分析p-type矽薄膜之電性。進而探討應用於n型矽基板上，製備成太陽能電池元件後並量測光電轉換特性。 並研究ZnO:Al (AZO)薄膜濺鍍於塑膠基板上，在不同的薄膜厚度量測其薄膜的電特性及光特性，得到一ρ=4 x 10-4Ω-cm、μ=21 cm2/V·s、 n=6.4 x1020 1/cm3、可見光部分穿透率 75% 等特性於1100 nm之ZnO:Al (AZO)薄膜。 最後分別使用AZO薄膜以及鋁製備於電極部分進行太陽能電池光電轉換量測，最終我們在Al/p-Si/n-Si wafer/Al 結構上獲得一開路電壓為0.41V，光電流為0.38 mA/cm2 ，轉換效率為0.1% 的太陽能光伏元件。