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    KrF準分子雷射於SU-8光阻之光刻特性與應用研究
    (2004-11-26) 楊啟榮; 謝佑聖; 唐隆綾; 黃信瑀
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    全玻璃渾沌對流式微混合元件製作
    (2005-11-25) 楊啟榮; 謝佑聖; 唐隆綾; 鍾武雄; 施建富
    微混合器為流體系統中十分重要之元件,於化學合成、生醫檢測及藥物輸送方面皆有廣泛的應用。玻璃基材具耐高溫、熱阻絕性佳、化學性質穩定與電性絕緣等優點,適於製作需高溫操作或分隔熱區功能之晶片。然而玻璃之深寬比受製程限制,因此混合元件設計上需將此限制加以考慮。本研究利用玻璃晶片為基材,建立玻璃深蝕刻與融熔接合之技術,製作能夠提供高溫操作、分隔熱區之被動式微混合晶片。並以流體數值分析法評估微混合器混合效果,具體實現立體c型渾沌對流式之混合器。製程方面建立蝕刻深度100μm以上的深蝕刻製程技術,並將Pyrex 7740之側蝕比則經由退火從2.52大幅改善至0.96。
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    微反應晶片應用於硒化鎘奈米微粒合成之研製
    (2005) 唐隆綾; Lung-Ling Tang
    奈米微粒(nanoparticles)由於粒子尺寸接近分子層級,受到強烈的量子侷限效應(quantum size confinement effect)規範,使其在各性質上顯現出截然不同於傳統塊材之特性,在眾多材料特性中,其吸收、放光光譜皆為粒子大小依憑性(size-dependent)最為顯而易見,此特性使得奈米微粒能廣泛應用於光電科技、生醫檢測方面的研究。因此近年來相關奈米微粒之製備,皆朝向高粒徑均勻度(monodispersity)、粒子大小可控性來發展。然而,透過化學藥品分散與包覆,奈米微粒的分佈寬度仍有一定極限,無法完全解決粒徑均勻度不佳之問題。 微流體系統具有快速質傳與熱傳特性的優點,應用於生化反應,如連鎖反應聚合脢(Polymerase Chain reaction, PCR)的微反應晶片,便有極優於傳統反應之表現。因此本研究目的即以微機電製程技術為基礎,製作一應用於合成硒化鎘奈米微粒之微反應晶片。與傳統巨觀反應器相較,微反應晶片因具有快速升溫降溫、溫度分佈均勻、濃度與反應時間容易控制等優點,預期能改善傳統合成法未能解決之粒徑分佈不均現象,並且精確的控制奈米粒子之粒徑大小;產量部分則藉由連續反應提升產量,達反應自動化與批次化生產的目的。本研究已建立一套製程,成功將微混合元件與微加熱元件,整合於全玻璃反應晶片上,並實際通入硒化鎘奈米微粒溶液進行合成,以驗證此微反應晶片之可行性。
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    微反應晶片應用於硒化鎘奈米微粒合成之研製
    (2005-11-10) 楊啟榮; 謝佑聖; 唐隆綾; 鍾武雄; 張峻銘
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    感光型PVDF壓電薄膜之微影與應用特性探討
    (2004-12-02) 楊啟榮; 蔡其成; 黃信瑀; 唐隆綾

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