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    PDMS微反應器應用於金奈米微粒合成之研製
    (2006) 施建富; Shih Jian-Fu
    奈米微粒(nanoparticles)之研製為目前奈米科技重要的一環，其中金奈米微粒由於大小、光學性質、表面化學性質及無毒等特性，故被廣泛應用於光電科技、生醫檢測方面的研究。也因此近年來相關金米微粒的研製皆朝向如何提高微粒粒徑的均勻度及大小的可控性發展。 與傳統巨觀反應器相較，PDMS微反應器具有生物相容性高、可控性佳、可批次化生產及易於觀測等優點，預期將能改善傳統合成法之粒徑分佈不均、控制不精確等問題，達成反應器控制精確及金奈米微粒可批次生產等目的。因此本研究特以微機電中之SIGA製程技術，研製PDMS微反應器(microreactor)，並由流體數值分析(computational fluidic dynamics, CFD)軟體的模擬結果得知，研究中所設計之微反應流道流率在150 ul/min~370 ul/min的範圍內有較佳的混合效果。 於矽模的蝕刻過程中，藉由添加界面活性劑(surfactant) Br+IPA於非等向性濕式蝕刻(anisotropic wet etching)蝕刻液之技術，改善使用單一添加劑時的缺點，使得蝕刻底切比率降低至0.563，蝕刻粗糙度達到23.48nm，成功蝕刻出所需之矽模。最後將完成之元件實際進行金奈米微粒的混製，在13~14 V的電壓驅動下，白金微加熱器能提供約120 ℃之加熱溫度，達到反應所需之熱能，並且在注射幫浦注射流率為8 ul/min的條件下，成功混製出吸收波長約為545 nm之金奈米微粒。
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    PDMS微反應器應用於金奈米微粒合成之研製
    (2006-11-11) 楊啟榮; 施建富; 林宏展; 李明承; 郭文化
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    全 SU-8 厚膜光阻之靜電式微夾持器研製
    (2005-11-25) 楊啟榮; 程金保; 王服賢; 張峻銘; 施建富
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    全 SU-8 厚膜光阻之靜電式微夾持器研製
    (2005-11-25) 楊啟榮; 程金保; 王服賢; 張峻銘; 施建富
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    全玻璃渾沌對流式微混合元件製作
    (2005-11-25) 楊啟榮; 謝佑聖; 唐隆綾; 鍾武雄; 施建富
    微混合器為流體系統中十分重要之元件，於化學合成、生醫檢測及藥物輸送方面皆有廣泛的應用。玻璃基材具耐高溫、熱阻絕性佳、化學性質穩定與電性絕緣等優點，適於製作需高溫操作或分隔熱區功能之晶片。然而玻璃之深寬比受製程限制，因此混合元件設計上需將此限制加以考慮。本研究利用玻璃晶片為基材，建立玻璃深蝕刻與融熔接合之技術，製作能夠提供高溫操作、分隔熱區之被動式微混合晶片。並以流體數值分析法評估微混合器混合效果，具體實現立體c型渾沌對流式之混合器。製程方面建立蝕刻深度100μm以上的深蝕刻製程技術，並將Pyrex 7740之側蝕比則經由退火從2.52大幅改善至0.96。
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    單晶矽非等向性濕式蝕刻之壓力輔助機制特性研究
    (2005-11-25) 楊啟榮; 程金保; 楊証皓; 施建富; 張峻銘
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    單晶矽非等向性濕式蝕刻之壓力輔助機制特性研究
    (2005-11-25) 楊啟榮; 程金保; 楊証皓; 施建富; 張峻銘
    本研究之新型微機械式可變電容，具有製程簡單、生產成本低、良率高等特點，除了可取代電子式變容器外，其整套製程也能與標準積體電路製程相容，因此有能力達成將微機械式可變電容與其他電子電路整合，實現系統單晶片(system on a chip, SOC)的目標。本研究主要分為元件製程與訊號量測兩大部分：1.在元件製程上，成功地運用光阻犧牲層技術與犧牲層保護膜，製作出SU-8光阻之懸浮微結構。整個微機械式可變電容元件包括：下電極、光阻犧牲層、SU-8可動結構層與上電極，最後再將犧牲層移除，以完成元件製作。2.在訊號量測上，由電容電壓關係曲線得知，當頻率固定在2000 Hz時，此電容值變化是在外加偏壓為40伏特與無外加偏壓下的電容差值，則此元件具有0.3 pF的電容變化量。由史密斯圖得知，頻率從45 MHz至1.079 GHz的範圍內，此可變電容是電容性元件，其具有理想的品質因子，且等效電路為良好的開路。當頻率固定在1.079 GHz時，其輸入反射係數表示為S(1,1)=0.540/-176.102。
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    表面聲波生化感測器原理與應用技術
    (財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心, 2004-08-01) 楊啟榮; 李清鋒; 施建富
    隨著通訊產業的蓬勃發展，表面聲波元件在通訊產業應用最為顯著，因表面聲波濾波器具有體積小、重量輕、低成本、製程與 IC 技術相容性高及高性能濾波功能等優點，並且可以針對各項需求選用不同的壓電材料，製成適用不同波段的濾波器，是目前無線通訊系統和手機的關鍵零組件。除了在訊號處理方面表現突出之外，近十年來，表面聲波元件以其高質量靈敏度的優異特性，更進一步應用於生化感測領域。本文將針對生化感測之表面聲波元件作一詳細介紹，首先簡介表面聲波元件的發展及原理，並敘述各種不同聲波型式之表面聲波感測元件的波傳遞方式、質量靈敏度、應用實例、製作與量測方式，以及氧化鋅薄膜在拉福波感測元件之應用。
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    高溫暨高壓蝕刻機制應用於單晶矽非等向性濕式蝕刻之特性研究
    (2005-11-10) 楊啟榮; 程金保; 楊証皓; 施建富