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Browsing by Author "曾涵楨"

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    鐵電電容式記憶體特性及研究
    (2023) 曾涵楨; Tseng, Han-Chen
    鐵電材料是一種具有雙穩態特性的材料,在電場的作用下能夠產生持久的極化狀態,也能夠在無外部電場的情況下保持所極化的狀態,並即在不同的極化狀態之間切換。這種特性使得鐵電材料成為理想的記憶體元件,可以實現高密度、非揮發性的數據存儲,使其廣泛應用於記憶體中。本研究選擇摻雜不同鋯濃度的氧化鉿鋯(Hf1-xZrxO2, HZO)作為鐵電材料,並對其特性進行了深入研究和應用。鐵電電容式記憶體(Ferroelectric Capacitive Memory, FCM)主要分為累積式FCM和反轉式FCM,同時都有低功耗、快速的寫入速度、長時間保持性和耐久度等優點,並應用於類神經運算。通過TCAD模擬的結果,觀察到反轉型FCM施加負偏壓時,n+摻雜區產生帶對帶穿隧效應。製作不同鐵電層濃度和結構的FCM元件,結果顯示MPB( Morphotropic Phase Boundary) SL(superlattice)-HZO具有較高的開關比,並且在保持度和耐久度量測中表現出更優異的性能,具有對稱性| αp - αd | = 0.03 ~ 0.35的深度學習操作,展現成為類神經突觸元件的能力。

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