Browsing by Author "李清鋒"

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    生物感測表面聲波元件之製作與應用
    (2004) 李清鋒; Ching-Feng Lee
    隨著通訊產業的蓬勃發展，表面聲波元件在通訊產業應用最為顯著，因表面聲波濾波器具有體積小、重量輕、低成本、製程與IC技術相容性高及高性能濾波功能等優點，並且可以針對各項需求選用不同的壓電材料，製成適用不同波段的濾波器，是目前無線通訊系統和手機的關鍵零組件。除了在訊號處理方面表現突出之外，近十年來，表面聲波元件以其高質量靈敏度的優異特性，更進一步應用於生物感測領域，表面聲波元件可感測質量、密度、濕度、濃度、氣體辨識或黏滯度等。基本上表面聲波元件運用於訊號處理和生化感測方面的設計是不同的，但所有元件皆運用相同的物理特性及原理。 本論文即以AZ 6112及稀釋後的SU-8作為波導層，利用其低成本和低密度的優點製作出拉福波生物感測器，改善二氧化矽在製程上繁雜，多一道微影與蝕刻程序，而且耗時及費用昂貴等缺點。在元件完成之後，將其應用於去離子水與老鼠細胞(3T3)濃度的感測。由實驗結果發現AZ 6112(波導層厚度2.130 um)比SU-8(波導層厚度1.775 um)更適合作為拉福波元件的波導層，並且其頻率和相位的偏移量皆比SU-8大。除此之外，兩者皆隨著老鼠細胞濃度增加，其頻率偏移量愈大，當滴下相同體積(5 ul)且濃度為6000個數/l的老鼠細胞時，SU-8作為波導層時，其頻率偏移量為18.16 kHz，而AZ 6112作為波導層時，其頻率偏移量237.523 kHz，這表示以AZ 6112作為波導層之元件，其頻率偏移量是以SU-8為波導層的13倍之多，亦即表示以AZ 6112的拉福波元件更適合應用於生物感測。
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    生物感測表面聲波元件之製作與應用
    (2004-12-02) 楊啟榮; 李清鋒; 黃茂榕; 王服賢
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    表面聲波生化感測器原理與應用技術
    (財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心, 2004-08-01) 楊啟榮; 李清鋒; 施建富
    隨著通訊產業的蓬勃發展，表面聲波元件在通訊產業應用最為顯著，因表面聲波濾波器具有體積小、重量輕、低成本、製程與 IC 技術相容性高及高性能濾波功能等優點，並且可以針對各項需求選用不同的壓電材料，製成適用不同波段的濾波器，是目前無線通訊系統和手機的關鍵零組件。除了在訊號處理方面表現突出之外，近十年來，表面聲波元件以其高質量靈敏度的優異特性，更進一步應用於生化感測領域。本文將針對生化感測之表面聲波元件作一詳細介紹，首先簡介表面聲波元件的發展及原理，並敘述各種不同聲波型式之表面聲波感測元件的波傳遞方式、質量靈敏度、應用實例、製作與量測方式，以及氧化鋅薄膜在拉福波感測元件之應用。