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    KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用
    (2000-07-31) 李育德; 楊啟榮
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    KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(II)
    (2001-07-31) 李育德; 楊啟榮
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    KrF準分子雷射LIGA製程用厚膜光阻劑之合成與應用(III)
    (2002-07-31) 李育德; 楊啟榮
    微機電系統(MEMS)應用技術中,LIGA製程技術日益受到重視。在LIGA技術中第一個步驟也是整個程序中最重要的步驟是光刻製程。目前LIGA技術中的光深刻術(反應性離子蝕刻除外)所面臨的最大挑戰是在於高分子厚膜光阻材料的準備,這是LIGA技術中急需解決的問題。許多的研究結果指出 Kapton在KrF準分子雷射下可以得到不錯的光刻結構品質,因此聚醯亞胺有潛力作為Laser-LIGA製程中的厚膜光阻材料。但是一般常見的聚醯亞胺(如Kapton)的溶解性極差,可以說是幾乎不溶於任何的溶劑,因此有難以將聚醯亞胺去除的問題,限制了聚醯亞胺在Laser-LIGA上的應用。 Harris等人則發展了許多有機可溶的聚醯亞胺,他們歸納出有機可溶聚醯亞胺分子結構需要具備以下特徵:(1)在分子主鏈上引入巨大或非極性的分子團。(2)主鏈上含有柔軟或非對稱性的結構。(3)經由共聚合反應而破壞規律或對稱性的分子結構。本研究成功地合成出可耐電鑄時嚴苛環境的聚醯亞胺厚膜光阻,且利用所合成出的聚醯亞胺厚膜光阻製作出最小線寬為10微米最大深寬比為30的微結構。
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    KrF雷射對PMMA-15% Diphenyl厚膜光阻之光刻特性探討
    (2001-12-07) 楊啟榮; 馬偉中; 謝建文; 謝佑聖; 李育德
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    UV-LIGA應用之新型厚膜光阻合成與微結構製作研究
    (2001-12-07) 楊啟榮; 謝建文; 謝佑聖; 李育德
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    UV-LIGA製程應用之正型厚膜光阻合成研究
    (2002-11-21) 楊啟榮; 謝建文; 謝佑聖; 李育德
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    台灣休閒潛水員環境行為守則內涵建構
    (2019) 李育德; Lee, Yu-De
    以珊瑚礁生態環境為基礎的海岸遊憩活動,為海岸周邊社區提供採補以外的收入來源,卻也為沿海珊瑚礁環境帶來改變,其中發展快速、活動過程與珊瑚礁也最接近的休閒潛水活動更是造成珊瑚礁生存壓力的重要來源,亟需以適當的方案促使休閒潛水者實踐負責任環境行為,同時提高遊客與當地業者之環境意識,進而達成海岸自然環境保護並維持社區的經濟及文化資產健全。 本研究旨在探討適用於參與休閒潛水活動的潛水者行為守則之內涵,作為制定適用於休閒潛水活動參與遊客與業者共同遵守之行為守則與潛水員環境教育之參考。研究方法以國際間休閒潛水活動行為守則、場域規範、政策法規及相關休閒潛水環境管理策略進行統整歸納及分析,發展出休閒潛水活動遊客環境行為構面,再以基隆東北角具代表性潛水地點的教學者、業者及鄰近場域工作者為研究對象進行半結構式訪談,以瞭解休閒潛水產業發展的脈絡,並探討以環境行為守則作為休閒潛水員及相關從業者作為管理工具的操作模式。 研究結果發現,為因應水肺潛水的環境衝擊,改善教學訓練過程、教學者的帶領、相關規範與同儕的鼓勵是促使潛水員採取負責任環境行為的重要因素。研究並提出潛水員的環境行為守則,包含:「水下行為」、「綠色消費」、「環境知識」、「旅遊及潛水行程規劃」、「陸上環境行為」、「參與環境行動」等六項;以及適用於潛水業者的潛水中心行為守則,包含「辦理低衝擊水肺潛水活動」、「經營友善環境潛水中心」、「環境知識的傳達」與「環境行動」等四項。
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    微系統類LIGA製程與應用技術
    (越吟出版社, 2001-01-01) 楊啟榮; 強玲英; 郭文凱; 張哲瑋; 林暉雄; 謝佑聖; 李育德
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    新型紫外光厚膜光阻開發與應用
    (中華民國微系統暨奈米科技協會, 2004-06-01) 謝建文; 謝佑聖; 楊啟榮; 李育德

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