Browsing by Author "林品均"
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Item 利用皮秒雷射以可撓性導電技術於溫度感測元件之探討(2019) 林品均; Lin, Pin-Chun本研究利用皮秒雷射直寫(Picosecond laser direct-writing)技術於石墨烯薄膜(Graphene film )上,進行可撓性導電元件(Flexible conductive device)之製作,該元件設計是包含微加熱器(Micro-heater)與微感測器(Micro-sensor)之兩種電極結構。透過電極結構不同間距(Gap)的設計,探討微加熱器之熱電學特性,以及對於微感測器之靈敏度影響。進一步,本研究利用彎曲(Bending)實驗在可撓性導電元件進行穩定性測試。實驗結果顯示,當輸入電壓12 V時,微加熱器能夠於10 sec內快速提升至穩態溫度,其最高溫度可以達到85 °C,以及具有均勻熱分佈之效果。進一步,當微加熱器之電阻值分別控制為206.90±6.21 Ω及290.25±8.71 Ω時,在輸入電壓12 V下分別能夠達到90.54±6.06 °C與53.55±3.85 °C,說明了製備較低電阻值之微加熱器能夠得到更佳的升溫特性。此外,利用微加熱器作為熱源,能夠使微感測器的電阻產生變化,藉此獲得溫度感測器調控之驗證。實驗結果顯示,當改變間距從1300 μm 至100 μm時,其元件靈敏度值自3.35×10-4 °C-1提高至14.7×10-4 °C-1,大幅增加了77.21 %,證明當兩電極的間距愈接近時,其靈敏度會增加。最後,本研究進行可撓性導電元件之彎曲次數100次循環下,該元件電阻與溫度性質不受影響,其誤差值分別在±5 %與±5 °C,說明此研究開發之石墨烯導電薄膜元件,具有良好的抗彎折特性,以應用於可撓性導電元件之溫度感測。