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    利用掃描探針顯微鏡探測二氧化鈦奈米粒子
    (2007) 邱千鳳
    本實驗目的在利用原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)探測二氧化鈦奈米粒子的形貌;二氧化鈦粒子由台北科技大學所研發的改良式真空潛弧法(Arc-Submerged Nanoparticle Synthesis System, ASNSS)製備,製備出的奈米流體由不同的介電液收集著。筆者採取不同的取樣法與乾燥法,觀察奈米粒子在矽基底與銅/矽基底上是否有不同的聚集或分散行為;接著利用原子力顯微鏡本身內建軟體,分析粒子的尺寸。 利用原子力顯微鏡大氣系統在觀測上的優勢是:易於操作(不需抽真空)、解析度高,可看到樣品表面形貌與粗糙度,搭配分析軟體可作尺寸測量、grain分析與統計、三維顯示……等。但是缺點在於真空度不佳,對於樣品表面的乾淨度不易維持,所以欲達原子層級解析有困難,另外,取一張圖所需的時間長。 實驗結果顯示,排除原子解析度不可達的限制,原子力顯微鏡協助我們觀察TiO2奈米粒子在不同取樣方式的呈現結果,的確對我們的取樣方法的優缺判斷有其貢獻。合適的取樣方法標準是,以AFM影像掃瞄結果判斷:一為在微米尺度下(大尺度)粒子分佈均勻,而即使在小於微米尺度(奈米尺度)下有團簇行為依然是可以被接受的取樣方法;二為判斷粒子的尺寸大小是否為奈米粒子,即粒子徑度與高度均在100nm以下;或是形成的團簇粒子尺寸在微米以下,而且幾乎是均勻大小的尺寸。

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