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    利用單層聚苯乙烯奈米球於矽基太陽能電池抗反射層之研究
    (2008) 林倉毅; Chang Yi Lin
    目前太陽能電池在太陽光入射電池的表面時,會造成約40%以上光反射,其主要反射原因是因外部電極的大小會阻擋光的行進路徑,另外抗反射層的尺寸大小或材料的匹配也是影響光反射的原因之一。然而在1967年學者Bernhard利用電子顯微鏡在蛾眼的角膜表面發現約有200nm大小的週期性凸起的結構,此一結構會直接改變光進入空氣與角膜間的反射係數,可增加光的穿透性並降低其反射率。因此本論文研究將藉由蛾眼效應(Moth eye effect)的方式來製作矽基抗反射結構層。   此實驗是將聚苯乙烯奈米顆粒球直接鋪設於矽基板上,透過反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etching)做乾式蝕刻,並利用氧氣氣體蝕刻控制奈米顆粒球的尺寸大小,再利用四氟化碳氣體蝕刻控制矽基板之深度後,以製作出矽基抗反射層結構。製作完成之矽基抗反射層結構經由光譜儀量測其反射率,量測波長範圍為400nm至800nm。由反射光譜可得知,不含抗反射層結構之平面矽基板光反射量約為40%;製作抗反射層結構後,其光反射量最多可降低至8.8%,如此可達到抗反射的效果。以此方法製作之抗反射層結構具有較低成本、製作簡易、設備要求低的優點,並冀望可應用於矽晶太陽能電池上,並改善矽基抗反射層結構及改善太陽能電池整體之效率。

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