Browsing by Author "Kuo Yi"

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    二極式電沉積法製備氧化鎢薄膜之電致色變性質研究
    (2013) 郭翊; Kuo Yi
    本研究以電沉積法製備氧化鎢電致色變薄膜，利用控制不同的電沉積溶液靜置時間，使鍍液產生時效作用，並將所沉積出之薄膜進行退火，最後進行電致色變特性評估。本實驗分三個部份，第一部份使用二極式電沉積系統，先求得電沉積起始電位，再決定電沉積參數，並且使用定電位法沉積氧化鎢薄膜；第二部份探討不同時效時間鍍液對於其所沉積氧化鎢薄膜的影響；第三部份將薄膜進行退火處理，並觀察退火前後對於著去色電荷進出量、著色效率與漏電流的影響。經由本實驗所量測得到的二極式電沉積起始電位為0.922 V，最佳著去色電位為2.5 V，利用1.5 V沉積電位條件沉積2分鐘所得到之薄膜厚度約為300 nm，表面粗糙度介於1.0-1.5 nm之間，退火後表面粗糙度則低於1 nm。經電致色變特性分析，沉積出最好的薄膜參數為鍍液時效4天後進行電沉積之薄膜(未退火)，其穿透率差達54.3%，光密度差為0.48，著色效率可達37.3 cm2/coul，且去色回復率為95%。經100℃退火之薄膜其著色效率與回復率均下降，分別為14.1 cm2/coul與35%，由元件電性量測證實300℃退火之薄膜具有很高的漏電流與非常狹窄的遲滯區間，因而導致薄膜難以進行著去色反應。