Browsing by Author "LIN, Ting-Wei"
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Item 化學氣相沉積法製作鈣鈦礦共振型發光二極體之特性研究(2021) 林廷威; LIN, Ting-Wei本研究提出一項有別於過去常用的化學方式備製鈣鈦礦薄膜的製程方法,改善化學溶液環境汙染的困局。利用化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition)在ITO基板成長無機鈣鈦礦材料CsPbBr3薄膜,達成無使用化學溶液的製程。藉由成長溫度、壓力、流量的調控研究,在1.5 cm *1.5 cm 玻璃基板放置距離粉末下游13.5 cm,使用單熱源加熱包650 ℃下通氮氣流量50 sccm壓力在600 Torr下可成長出微米等級的鈣鈦礦材料薄膜。本研究也成功開發出運用化學氣相沉積法成長在ITO基板之大面積鈣鈦礦材料CsPbBr3薄膜。再結合我們採用二種一者為下反射鏡布拉格反射鏡(Distributed Bragg Reflectors; DBRs)另一者為金屬鏡面最為上反射鏡,目前大部分的鈣鈦礦發光二極體之電子傳輸層與電洞傳輸層,仍使用有機材料,這些材料除了環境耐候性差以及價格昂貴之外,不論在製造還是丟棄時,對環境都有很大的污染性,為了改善這個問題,本研究採用低環境汙染、價格便宜且耐候性佳之氧化鋅(ZnO)傳輸層形成微共振腔發光二極體;討論有無DBR之發光強度與半高寬之差別。