Browsing by Author "Ma, I-Lun"

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    適用於發光二極體導電擴散層之石墨烯材料特性研究
    (2016) 馬逸倫; Ma, I-Lun
    石墨烯是一種由碳原子六角形陣列的二維碳材料，其具有卓越的特性，如低片電阻、高穿透度、機械與熱特性等，被認為是未來優良之透明導電電極能夠運用於許多光電子元件上。 本實驗中，吾等將化學氣相沉積生產之石墨烯運用於發光二極體元件之p-GaN上作為透明導電電流擴散層。化學氣相沉積5 sccm甲烷、10 sccm氫氣與100 ~ 500 sccm氬氣濃度混和於攝氏900 ℃沉積石墨烯薄膜，接續運用奈米轉印技術將石墨稀轉印至發光二極體元件之p-GaN上。為了減少石墨烯與p-GaN界面之間蕭特基位能障，在p-GaN表面先沉積厚度為3奈米之鎳奈米層(Ni thin film)，緊接著將樣品放置於含氧氣體中以攝氏400℃進行熱退火3分鐘，使其鎳奈米層轉換成氧化鎳(NiO)，後續將石墨烯轉印於氧化鎳上再做一次熱退火使石墨烯與NiO/ p-GaN緊密接合，以降低石墨烯與p-GaN之間之蕭特基位能障進而形成歐姆接觸。最後使用圓形傳輸線模型(CTLM)進行電性量測。