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    懸臂式微型搪研工具開發與應用
    (2009) 葉明桀; Ming-Chieh Yeh
    中文摘要 微型模具孔徑或槽寬尺度小於200μm時，除了粗加工困難外，模具壁面 或孔壁面的精加工也很困難，本研究提出一種『懸臂樑式微型搪研工具』的 設計，包括提供複合沉積的多孔性載體設計、搪研工具設計，以及提供剖切 微溝的倒置式微線切割放電加工機構應用，主要針對微米等級的特徵尺度微 孔進行搪研加工。經由線式放電研削修整完成的微細軸桿，移入多孔性載體 中進行CBN磨粒的複合沉積。為獲得懸臂造型工具，以微線切割放電加工方 式進行倒置式切割。成型的微型工具被精密移入SKD11冷模工具鋼的微孔中 進行搪研實驗。所有製程均設計於同一部微型綜合加工機上完成，搪研工具 不拆裝及校正，所有加工位置均由CNC系統所控制，故工具沒有定位誤差問 題，與工件間的相對位置也可精密維持。實驗結果得知，加工後的微小孔可 獲致極佳的幾何精度、尺寸精度與表面粗度。 關鍵字：微型搪研工具、微放電鑽孔、微線切割放電加工、複合沉積。