晶圓穿孔陣列之光輔助電化學蝕刻特性研究
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 羅嘉佑 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 李幸憲 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 郭俊良 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:21Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:21Z | |
| dc.date.issued | 2008-11-21 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_061 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37022 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 中國機械工程學會、大葉大學主辦。2008中國機械工程學會（CSME）第25屆全國學術研討會，彰化：大葉大學，台灣。 | zh_tw |
| dc.title | 晶圓穿孔陣列之光輔助電化學蝕刻特性研究 | zh_tw |
| dc.title | Silicon wafer through-holes fabricated by photo-assisted electrochemical etching | en_US |